RF 源, 射频等离子源的氮化物应用(English)
- 类别:分析方法/应用文章
- 上传人:svta
- 上传时间:2008/11/21 16:56:38
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简介:
射频等离子源(RF 源)在现在的分子束外延生长中应用是非常普遍的。
其中氮化物,氧化物的RF源应用最多。
本文是RF 氮气源在GaN生长中的一些应用资料。
其中提到了Ga源的生长温度,和RF源的流量及功率信息。
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