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锤子
RF 源， 射频等离子源的氮化物应用（English）
- 类别：分析方法/应用文章
- 上传人：svta
- 上传时间：2008/11/21 16:56:38
- 文件大小：214K
- 下载次数：16
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简介：
射频等离子源（RF 源）在现在的分子束外延生长中应用是非常普遍的。 其中氮化物，氧化物的RF源应用最多。 本文是RF 氮气源在GaN生长中的一些应用资料。 其中提到了Ga源的生长温度，和RF源的流量及功率信息。
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