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锤子
简介：
nPoint高精度纳米定位和位移控制平台可在微、纳米范围内，快速实现纳米级精度的位移控制及精确定位。可在三维空间任一轴向、二个轴向和三个轴向的六个自由度上精确定位，也可按预先设定的角度完成倾斜或旋转方向定位；各个自由度的定位互不耦联影响；同时借助闭环回路控制系统和计算机软件操作，使定位装置真正实现了全方位精确的纳米位移控制和 定位。 技术参数范围： 特点： 运动范围：50um~500um 六自由度上任意准确定位 传感器：电容传感器 闭环回路控制系统 分辨率：0.1nm~1nm 高的准确度 共振频率：300Hz~4000Hz 高速定位 滞回度：≤0.02% 高精度定位 线性度：≤0.05% 线性度好
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