通过激光直写技术制造光子设备:SEM如何作出贡献
- 类别:分析方法/应用文章
- 上传人:复纳科学仪器
- 上传时间:2017/11/14 11:59:16
- 文件大小:764K
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简介:
光子设备被广泛应用于自然科学中,用于制造,操作和探测光。在未来,制造先进的光子设备将是一种挑战,并需要灵活性和可调谐性。因为它们需要先进的三维光刻技术, 制造这些设备并非易事。激光直写技术(DLW)是一种有趣的方式,它的目标是运用液态晶体光刻胶作为感光材料。
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