消耗积分 : 免积分
高纯硼烷在半导体工艺中是重要的掺杂剂, 它的纯度很大程度决定了半导体器件的质量。高 纯硼烷的杂质分析一直是电子气的“老大难”。根 据半导体工艺的要求,硼烷中的有害杂质主要是 指氧、水、一氧化碳、二氧化碳和甲烷等,考虑 到提纯方法和制造过程中系统泄漏而造成大气环 境中 氧 和 水 对 硼 烷 的 污 染(氧 占 ,!S,水 占 !O.S T ,S)。
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