消耗积分 : 免积分
纳米光刻是一种非常有前途的制造技术。不同于激光干涉,深紫外,电子束或离子束光刻,纳米光刻技术拥有平行放大的特点,以及在复杂基底结构如曲面上刻蚀的能力。这项技术的初始投资成本较低,且可以应用于多种材料。基底可以是非导电的、半刚性的、透明的或非透明的,而纳米粒子本身(通常是纳米球)可以由金属、无机物或聚合物组成。
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