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锤子
耗散型石英晶体微天平是为称量极小质量和软的物质而量身定制的特殊“天平”。 QCM-D,是耗散型石英晶体微天平的简称,它实质上是一个适用于称量极小质量的物质的天平。耗散型石英晶体微天平(QCM-D)是石英晶体微天平(QCM)的扩展型,QCM是一种从60年代沿用至今的用于测量真空或气相中表面质量变化的技术。QCM技术可以实时测量芯片表面上吸附或损失的质量,因此非常适合测量诸如电子半导体器件或光学薄膜等薄膜沉积过程中膜的形成速率以及厚度。
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