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锤子
采用 8800 ICP-MS/MS 测定超纯半导体级硫酸中的难分析元素
- 类别：分析方法/应用文章
- 上传人：安捷伦
- 上传时间：2018/7/15 22:12:53
- 文件大小：549K
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简介：
近年来碰撞/反应池技术 (CRC) 广泛应用于四极杆 ICP-MS (ICP-QMS)，以消除会对复杂基质中的分析物造成质谱干扰的多原子离子。利用 CRC，可以使半导体级化学品中几乎所有待测元素的背景等效浓度 (BEC) 降低至 ppt 或亚 ppt 水平。但是，某些样品基质中的一些多原子物质非常稳定，或者原始浓度较高，可能无法通过池技术完全消除，因而仍会导致残留质谱干扰问题。在本应用简报中，我们采用 ICP-MS/MS 成功测定了硫酸中以前难以测定的痕量级 Ti 以及其它元素。
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