纳米图形发生器(电子束曝光系统)

  1. 类别:标准
  2. 上传人:Insp_0ed0f3c6
  3. 上传时间:2018/7/20 10:34:51
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简介:

经中国科学院电工研究所电子束曝光技术研究组几十年不断努力和探索,特别是攻克了“图形发生器”和“定位工件台”等关键技术后,为各位从事微、纳米技术研究的专家提供了既具有微、纳米图形分辨率,系统简单又价格低廉的电子束曝光系统。 电子束曝光系统=(DY-2000A)纳米通用图形发生器+SEM

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