SD-160使用说明书

SD-160型离子溅射仪是采用二级（DC）直流溅射原理设计而成的离子溅射镀膜设备。二极（DC）直流溅射是一种最简单、可靠、经济的镀膜技术，是许多厂商提供的离子溅射仪的基础。 SD-160除了具有通常的基本结构外，它的特点是：配置有样品溅射室，真空显示表、溅射电流指示表、溅射电流调整控制器、微型真空阀、定时器。工作时结合内部自动控制电路很容易控制真空室压强、电离电流及选择所需的电离气体，获得最佳镀膜效果。 特殊设计的钟罩边缘橡胶密封圈，可保证长期使用不会出现影响样品溅射室真空度的玻璃钟罩“崩边”现象；陶瓷密封高压头比通常采用的橡胶密封更经久耐用。 根据电场中气体电离特性，采用大容量样品溅射真空室和相应面积溅射靶，使溅射镀层更均匀洁净。 此外SD-160应用高稳定性、高灵敏度电磁阀，采用双气路自动控制系统，更易实现对样品的保护以及对样品成膜品质的保证。特别适用于电镜实验室的SEM样品制备和新材料研究的电极制作。