海能仪器:微波消解半导体研磨剂(液)应用方案

  1. 类别:分析方法/应用文章
  2. 上传人:海能技术
  3. 上传时间:2018/12/11 14:38:27
  4. 文件大小:652K
  5. 下载次数:1
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简介:

对于成分未知且较为复杂的半导体研磨剂,硫磷混酸加氢氟酸的体系表现出极强的消解效果,可以将样品完全消解至无色透明状态。新仪TANK系列密闭微波消解仪消解此类研磨剂的极限在0.2g左右。此方法只针对新仪各系列密闭微波消解仪,切勿直接套用。

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