193nm准分子激光剥蚀系统的性能与应用

在过去，ArF准分子激光剥蚀系统由于其低波长low wavelength高能量密度（fluence即energy density）等特点，在用于剥蚀地质类样品时备受欢迎。然而，当脉宽>20ns时（长脉宽long pulse duration），该激光剥蚀系统则不适于剥蚀例如合金之类的导热材料，且样品表面的功率密度power density<1.2GW/cm2(即“辉度”)