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锤子
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在过去,ArF准分子激光剥蚀系统由于其低波长low wavelength高能量密度(fluence即energy density)等特点,在用于剥蚀地质类样品时备受欢迎。然而,当脉宽>20ns时(长脉宽long pulse duration),该激光剥蚀系统则不适于剥蚀例如合金之类的导热材料,且样品表面的功率密度power density<1.2GW/cm2(即“辉度”)
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