消耗积分 : 免积分
背散射电子(BSE)是由弹性散射产生的。当主电子束中的电子接近样品中的原子核时,受到原子核中正电荷的作用力,它们的运动轨迹发生了偏离。背散射电子的产率取决于原子核的大小。BSE图像对比度反应了样品表面的成分衬度。在这篇文章中,会介绍背散射电子系数,并解释它是如何受到样品倾斜度和入射电子束能量的影响。
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