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锤子
SPM-FIB-SEM系统联用在集成电路失效分析中的应用
- 类别：分析方法/应用文章
- 上传人：科适特
- 上传时间：2019/1/19 15:22:45
- 文件大小：1013K
- 下载次数：6
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简介：
相关探针和电子显微镜（CPEM）是一种结合扫描电子显微镜（SEM）和扫描探针显微镜（SPM）的新技术。 集成电路中的目标层可以通过SEM和SPM在同一地点，同时和相同的协调下进行分析系统。CPEM图像包含表面形貌信息以及典型的SEM细节,SPM / FIB / SEM技术的集成显着简化了用于故障分析，质量控制和集成电路研发的去层过程.
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