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锤子
简介：
用离子注入法向硅单晶材料掺杂时，由于注入离子与硅原子的相互作用，会引入各种类型的损伤，从而改变了硅材料的电学和光学性质。在离子注入层中制作器件之前，通常采用热退火的方法，消除注入损伤，恢复状态。
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