等离子清洗机/等离子处理机在IC半导体领域的应用
- 类别:其他资料
- 上传人:上海昭沅
- 上传时间:2019/4/25 15:50:22
- 文件大小:173K
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简介:
等离子处理系统目前可用于半导体领域,例如清洁,蚀刻,表面活化和提高可制造性;先进半导体封装和组装(ASPA),晶圆级封装(WLP);封装,成型
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