用于快速制备高质量二维/三维纳米器件的多功能光刻系统

  1. 类别:标准
  2. 上传人:QUANTUM量子科学
  3. 上传时间:2019/5/24 10:14:37
  4. 文件大小:1142K
  5. 下载次数:1
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简介:

NanoFrazor 3D纳米结构高速直写机替代传统纳米光刻及成像方法,具有高分辨的图形化工艺及成像功能(可达到<10nm的分辨率),兼容各类标准未加工制程和何种衬底材料。操作简单,成本低。 该技术自问世以来已经多次刷新了上小3D立体结构的尺寸,创造了上小的马特洪峰模型,小立体地图,小刊物封面等记录。

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