小型台式无掩膜光刻机—技术参数
- 类别:标准
- 上传人:QUANTUM量子科学
- 上传时间:2019/5/24 10:25:10
- 文件大小:9015K
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简介:
小型台式无掩膜光刻系统是英国Durham Magneto Optics公司专为实验室设计开发,尺寸仅有70cm X 70cm X 70cm,可以加工大直径200mm的样品,高分辨率可达0.6μm,为微流控、SAW、半导体、自旋电子学等研究领域提供方便高效的微加工方案。
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