ESS 氦质谱检漏仪在真空验证中的应用

  1. 类别:其他资料
  2. 上传人:东南科仪
  3. 上传时间:2019/7/8 11:01:39
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简介:

氦质谱检漏仪定义是用氦气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。 氦气作为惰性气体,不会腐蚀设备,且在容器环境和质谱环境中干扰较少,信号较纯,因而 常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有检漏仪(即调整到仅对氦气反应的工作状态的气体 分析仪)的被检容器上,若容器有漏孔,则分析仪即有所反应,从而可知漏孔所在及漏气量 大小。

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