消耗积分 : 免积分
用于失效分析应用的高真空扫描,再高真空条件下进行SSRM(Scanning Spreading-Resistance Microscopy-扫描扩展显微镜)测量能够减少所需的针尖-样品相互作用力,并减少对样品和针尖的损伤,延长针尖的使用寿命,并能通过提高空间分辨率和信噪比从而提供更准确的结果。
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