Park NX-Wafer 产品彩页介绍
- 类别:标准
- 上传人:Park原子力显微镜
- 上传时间:2019/11/6 15:27:39
- 文件大小:1356K
- 下载次数:24
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简介:
具有自动缺陷检测&原子力轮廓仪功能的低噪声,高吞吐量原子力显微镜。NX-Wafer原子力显微镜提供精确的形貌量测,可用来监控化学机械研磨平面化制程,检测因材料差异所造成异质材料间的凹陷(dishing)效应与浸蚀(erosion)效应
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