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锤子
EVG810LT系列 LowTemp（低温）等离子激活系统（设备资料）
- 类别：仪器样本
- 上传人：ASTchian
- 上传时间：2020/1/15 15:19:50
- 文件大小：166K
- 下载次数：12
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消耗积分 : 免积分
简介：
EVG810LT是一款单腔室、半自动的设备，适用于硅片直接键合的低温活化，如SOI，应变硅，GeOI，化合物半导体和MEMS器件等应用。EVG810LT工艺腔室允许使用非原位工艺，即硅片可在腔室内分别片片激活，之后在激活腔室外硅片进行键合。
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