加速电压效应对扫描电镜成像质量的影响

  1. 类别:标准
  2. 上传人:复纳科学仪器
  3. 上传时间:2020/5/12 14:12:29
  4. 文件大小:461K
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简介:

扫描电镜激发样品的物理信号(二次电子、背散射电子、特征 X 射线等)主要取决于入射电子束的加速电压,当高能量的电子束入射到同一样品时,入射电子束与试样相互作用区范围的大小随加速电压的升高而增大;在同一加速电压下,相互作用区随样品的原子系数增大而减小。

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