扫描电镜常见搭档——喷金仪相关问题详解
- 类别:标准
- 上传人:复纳科学仪器
- 上传时间:2020/5/29 13:35:20
- 文件大小:474K
- 下载次数:32
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简介:
在封闭腔室中,放置阳极靶材,充入气体,保持一定的真空度,在阳极和阴极之间加载高压,会发生辉光放电现象。电离的气体离子会轰击、侵蚀阳极靶材。靶材原子会因此向四周扩散,并在样品上沉积,最终在样品表面形成一个均匀的镀层。这个镀层可以抑制荷电,减小热损伤,提高二次电子产率,从而改善扫描电镜观察效果。
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