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锤子
JJF17392019数字式激光球面干涉仪校准规范
- 类别：标准
- 上传人：Grant Tech
- 上传时间：2021/3/15 9:32:49
- 文件大小：4359K
- 下载次数：0
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消耗积分 : 免积分
简介：
面形偏差surface form deviation,被测光学表面相对于参考光学表面的偏差。 峰谷值peak-to-valley (PV) value,面形偏差MAX值减去最小值，简称PV值。 PVr 值robust peak-to-valley (PVr) value,面形偏差的36项Zernike多项式拟合面PV值加上3倍拟合残差(面形偏差减去36项. 3.4球面元件F 数F number of spherical optics,球面曲率半径与通光口径的比值。注:被测球面元件F数应当小于或等于干涉仪球面镜头F数，才能实现球面干涉仪全表面测量
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