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锤子
EDS 分析(能量色散 X 射线光谱,也称为 EDX 分析)是一项研究微米级化学成分的强大技术。通过结合扫描电子显微镜 (SEM),EDS 从用电子束扫描样品时发射的 X 射线中获得组分信息。可检测的元素范围几乎涵盖了整个元素周期表,且 EDS 提供的数据对于很多应用第至关重要、从工艺/质量控制到故障分析和基础研究。因此,几乎每个 SEM 都配备了 EDS 系统。
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