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锤子
为展示Asicotech M6气相色谱分析系统的性能,本应用简报展示了电子特气四氟化碳,一次进样进行全组成(永久性气体:H2、O2、N2、CO和其它物质CO2、C2F6、CHF3、CH2F2)分析。结果证明,该分析系统可实现良好的线性、重复性、稳定性和检测限,能满足电子特气四氟化碳杂质组成分析,也可应用于组成相似的其他含氟气体的杂质分析。可适用于实验室分析,亦可用于生产装置或其它现场在线分析。
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