消耗积分 : 免积分
CMP 浆料适用于使用工艺中使用的材料评估过滤器性能。AccuSizer 可以使用实验室仪器对 LPC 进行准确计数和粒径调整,AccuSizer Mini 用于世界各地的晶圆厂进行过程中 LPC 监控。Entegris 现在拥有过滤和粒度分析仪技术,以及为 CMP 浆料过滤和监测提供最完整解决方案的专业知识。
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