半导体行业TOC对水质的影响

  1. 类别:其他资料
  2. 上传人:梅特勒-托利多
  3. 上传时间:2021/8/17 9:22:35
  4. 文件大小:532K
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简介:

超纯水是半导体行业在清洁与生产晶圆时所采用的最有效的强溶剂。在过去的四十年中,电子行业蚀刻到硅芯片上的电路数量发生了指数性增长。电路数量的增加大大减小了线宽,因此,对超纯水系统准确且持续测量的要求更高。

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