纳米薄膜的热扩散性能表征
课程描述
纳米薄膜材料是芯片,LED显示器件和微机电系统(MEMS)的重要组件。而薄膜的导热特性影响着这些器件与系统运行的性能与可靠性。但材料到达微纳米级别之后,其导热特性与宏观材料相比将产生较大的变化。因此,我们需要一个适用于纳米薄膜材料的导热测试方法。
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