型号: | CXF-320/3001 |
产地: | 北京 |
品牌: | 中科科仪 |
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CXF-320/3001型磁悬浮分子泵
磁悬浮分子泵是依靠磁力轴承支撑轴系的分子泵。系列磁悬浮分子泵是KYKY为满足现代半导体制备、芯片制造、工业镀膜、科研设备等领域应用需求开发的真空获得设备,抽速为1400L/s到3000L/s,应用压力范围为20Pa到10-7Pa,包含ISO-K、ISO-F、ISO-CF三种气体入口连接形式。
产品特点:
节能:无摩擦,避免热损耗、较其它类型产品能耗降低30%
高效:更长的连续工作时间、高气流量和高抽速
灵活:紧凑型结构,满足更小的物理空间需求、任意角度安装,适合各种设计需求、丰富扩展功能,满足客户定制化需求
技术指标:
抽气速率(l/s) | N2:3000 Ar:2750 He:2300 H2:1100 | 压缩比 | N2:>1E8 Ar:>1E8 He:>1E4 H2:>1E3 |
极限压强(Pa) | 10-7(橡胶密封) | 进气口法兰 | DN320 ISO F(标配) |
额定转速(rpm) | 21000 | 启动时间(min) | ≤12 |
停机时间(min) | ≤26 | 安装方式 | 任意角度 |
冷却方式 | 水冷 | 推荐前级泵抽速(l/s) | ≥30 |
应用领域:
半导体、光伏、平板显示、装饰镀膜、功能镀膜、科学研究、新能源、新材料、高能物理
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