型号: | SPM |
产地: | 德国 |
品牌: | 牛津仪器 |
评分: |
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大样品扫描探针显微镜源自著名的变温SPM,为采用SPM研究较大尺寸的样品(最大直径4’’的晶圆或自制样品)提供一个理想的平台。它主要特点如下:
样品最大直径4’’
可通过法兰对接在已有的真空腔体上
Sub system option
Fab line compatible
pA量级的隧道电流
增强的dI/dV隧穿谱
激光反射式AFM
QPlus式AFM
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牛津EMCCD探测器iXon 888
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