你用的是99.999%的高纯气体吗？赛默飞GC-PDD告诉你！

赛默飞色谱与质谱

2021/02/22 11:59
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高丽

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通常半导体生产行业，将气体划分成常用气体和特殊气体两类。其中，常用气体指集中供给而且使用非常多的气体，比如 N2、H2、O2、Ar、He 等。随着国民经济各部门的飞速发展，对气体工业的产品提出了越来越多的需求，国内气体工业的大发展使气体产品不仅在品种上大大增多，而且气体纯度越来越高，其含量常常在99.999%以上。

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高纯气体广泛应用于电子产品、半导体集成电路、TFT-LCD电真空器件、光电器件和光导纤维等生产过程，半导体集成电路生产所需高纯气体的品种多、用量较大、纯度和杂质含量要求都十分严格，需要对气体中微量（ppm）、痕量（ppb）级成分进行分析。

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PDD

赛默飞模块化脉冲放电氦离子化检测器

赛默飞模块化脉冲放电氦离子化检测器(PDD)是一款具有超高灵敏度的通用型检测器，对所有的物质均具有较高的灵敏度，因此，该检测器常被用于高纯气体中杂质的分析，其检测限能达到ppb级别。


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TRACE™ 1300 GC 系列

即时连接脉冲放电检测器 (PDD)


赛默飞

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高纯气体分析方案

高纯气体分析方案采用PDD气相色谱检测系统，能实现对多种高纯气体（Ne、H2、O2、N2、Ar、Kr、CH4、CO、CO2等）的分析。对几乎所有的无机和有机化合物均有很高的响应，分析重复性良好，检出限低，适合多数痕量分析方法测试的要求。

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Ne气分析实例：

高纯Ne标气谱图：

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Ne实际样品谱图：

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Ne实际样品分析重复性

6次连续进样分析结果统计（ppm, V）

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更多高纯气体中的杂质分析

高纯N2中微量杂质典型色谱图

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高纯原料气（C2H4/C3H6）

杂质分析典型色谱图

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赛默飞高纯气分析方案的特点：

1

模块化气相色谱仪及模块化PDD检测器为高纯气分析提供无与伦比的分析效率

2

电子流量控制的载气系统保证了分析的重复性和重现性

3

专用的阀和毛细柱/填充柱接头确保色谱柱的连接方便，无泄漏

4

毛细管分析方案可实现低含量O2和Ar的分离

5

检测限低至20-50ppb

6

分析系统稳定快，开机后2h可以分析样品

7

系统可扩展到其它类型高纯气分析


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