赛默飞离子色谱在浓氢氟酸中的阴离子应用

2017/11/25   下载量: 9

方案摘要

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应用领域 石油/化工
检测样本
检测项目 含量分析>阴离子活性物
参考标准 离子色谱在饮用水、环境、电子、化工、石化及公安系统应用所涉及到的全部应用。参考相应国家标准和美国EPA方法

半导体行业硅片制造中经常使用氢氟酸刻蚀,这一行业对氢氟酸等高纯试剂中的阴离子含量有严格的要求, 多为几个mg/L。本方法先用IonPac ICE-AS离子排斥柱将痕量阴离子与大量氢氟酸分离,再用浓缩富集柱将痕量 阴离子富集,最后采用阴离子分离柱分离测定阴离子。

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