半导体及相关行业赛默飞色谱质谱及光谱仪综合解决方案

2021/02/22   下载量: 15

方案摘要

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应用领域 半导体
检测样本 集成电路
检测项目
参考标准 国标

在《国家集成电路产业发展推进纲要》和国家集成电路产业投资基金的推动下,中国半导体市场已成为全球增长引擎。半导体行业的生产良率与经济效益息息相关,而单晶硅锭和晶圆的品质、生产过程中使用的清洗剂和刻蚀剂、封装材料、环境洁净度等都可能会影响生产良率。同时,在当前对环境保护要求日益严苛的大背景下,工业废水等环保问题也成为半导体及相关企业越来越重视的关注点。

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赛默飞世尔科技作为科学服务领域的领导者, 拥有行业领先的全方位解决方案,可为半导体 及相关行业的这些关键环节提供多层次技术支 撑,全方位满足您的分析需求。如单晶硅锭和 晶圆,以及清洗剂和刻蚀剂中的离子态杂质、 金属杂质、有机物杂质等可采用赛默飞技术领 先的离子色谱、电感耦合等离子体质谱仪(单 四极杆、三重四极杆 ICP-MS)或高分辨电感 耦合等离子体质谱仪(HR-ICP-MS)、辉光放 电质谱仪(GD-MS)、气质联用仪等进行分析, 且赛默飞丰富的前处理产品和分析产品组合同 时还可为 RoHS 检测、废水分析等提供全面解 决方案。

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