电子束光刻胶 AR-P 6200(CSAR 62)

电子束光刻胶 AR-P 6200(CSAR 62)

参考价:面议
供货周期: 两周
品牌: Allresist
货号:
北京汇德信科技有限公司
铜牌会员23年生产商
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产品详情

特点:


• 用于高分辨率电子束曝光等

• 感光波段:e-beam

• 高分辨率(< 10 nm), 高对比度(14)

• 高深宽比,高工艺稳定性

• 优异的耐干法刻蚀能力

• 采用不同的显影液(AR 600-546/ 548/ 549),可实现 

不同程度的灵敏度

• 可实现Lift-off工艺,操作简单

• 溶剂为苯甲醚(安全溶剂)



旋涂曲线:


6200的副本.jpg


应用实例:



欢迎致电咨询(电话:010-82867920/21/22),更多光刻胶信息请查看官网:http://www.germantech.com.cn/new/cplook.asp?id=514



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