电子束光刻胶 AR-PC 5090.02, 5091.02(导电胶)

电子束光刻胶 AR-PC 5090.02, 5091.02(导电胶)

参考价:面议
供货周期: 两周
品牌: Allresist
货号:
北京汇德信科技有限公司
铜牌会员23年生产商
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产品详情

特点:


• 用于消除电子束曝光、SEM成像、FIB等工艺中的荷电效应

• 通过旋涂的方式涂胶,操作简单

• 涂胶厚度:40nm @ 4000rpm

• 电子束曝光后可溶于水,非常容易去除,且不损伤衬底材料

• 对紫外光、电子束不敏感,无需黄光室 

  5090.02,适于PMMA、CSAR 62、 HSQ等; 

  5091.02,适于酚醛树脂基电子束光刻胶,如AR-N 7520


导电性:


5000_90_2-1.jpg

[注]导电胶电阻测量实验结果:胶层越薄,电阻越大,导电性降低。


应用实例:


5090.02.jpg


欢迎致电咨询(电话:010-82867920/21/22),更多光刻胶信息请查看官网:http://www.germantech.com.cn/new/cplook.asp?id=514




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