方案摘要
方案下载应用领域 | 其他 |
检测样本 | 其他 |
检测项目 | |
参考标准 | 无 |
使用自动缺陷分析系统AIM-9000,对具有一定厚度的样品进行了分析。若样本的表面暴露,可通过拆卸下部卡塞格伦镜,对样本进行切断等操作,无需前处理即可进行分析。
使用自动缺陷分析系统AIM-9000,对具有一定厚度的样品进行了分析。若样本的表面暴露,可通过拆卸下部卡塞格伦镜,对样本进行切断等操作,无需前处理即可进行分析。
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