自动化原位UPS-XPS团簇刻蚀分析OLED薄膜材料

2020/09/22   下载量: 0

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应用领域 电子/电气
检测样本 电子元器件产品
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原位分析的重要性不言而喻,可以避免仪器操作或样品处理等过程带来的不确定性。通过岛津AXIS Supra+原位UPS-XPS团簇深度剖析技术对OLED薄膜材料进行了研究,得到了材料的表面组成、功函数、HOMO能带等信息,相关信息可进一步用于材料能带结构等的研究。

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原位分析的重要性不言而喻,可以避免仪器操作或样品处理等过程带来的不确定性。岛津AXIS Supra+型光电子能谱仪具备原位UPS-XPS团簇深度剖析技术。UPS在半导体能带结构方面的应用越来越广泛,结合XPS的同时还可以对元素及化学态进行分析,配合团簇离子枪则可以实现对材料深度剖析的目的。原位UPS-XPS团簇深度剖析技术的难度在于放射源的不同,UPS所使用的为He I或He II紫外光源,XPS使用的为X射线光源,团簇枪使用的为氩原子团簇。AXIS Supra+通过独特的仪器结构设计及自动化技术的应用实现了该分析技术。

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