光学晶体氟涂层分析

2021/07/16   下载量: 0

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应用领域 电子/电气
检测样本 其他
检测项目 特性
参考标准

近年来,在质量控制和研发方面,获得物质外表面的信息的需求不断增加,表面分析的重要性与日俱增。表面分析的方法有很多种,各种方法可分析的元素和分析深度存在差异,需要根据测定对象选择合适的方法。XPS(X射线光电子能谱分析法:X-ray Photoelectron Spectroscopy)是一种测量固体表面受到软X射线照射时发射的光电子能量的表面分析方法,可进行物质表面元素的定性和定量分析、化学键状态分析。XPS的分析深度为自表面10nm左右,可以获得物质外表面的化学状态信息。本报告中为您介绍使用XPS分析光学晶体上薄膜键合状态的案例。同时,为您介绍不同的分析方法所带来的元素定性、定量结果的差异。

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使用XPS分析了在光学晶体表面实施的氟涂层。与EPMA相比,XPS在深度方向的分析区域较浅,只有10nm左右,可完成表面实施的薄处理层的定性、定量和化学键合状态分析。在本次的案例中,证实涂层主要由CF2-CF2,   O-CF2, CF-CF2 构成。    


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