方案摘要
方案下载应用领域 | 半导体 |
检测样本 | 其他 |
检测项目 | |
参考标准 | 无 |
使用SPM可以获到LiNbO3单晶体在微观区域的极化域分布情况,以及各域对施加电压的响应。本文虽然只介绍了捕捉垂直方向压电响应的案例,水平方向(扭曲)上压电响应也可进行同样的测定。结合垂直方向与水平方向的测定结果进行观察,可更加详细地评估样品的压电响应。
压电材料具有在外界压力下产生变形,进而产生电压的特性。充分利用该特性,压电材料可作为传感器、蜂鸣器、滤波器,在各种工业产品中发挥着重要作用。近年来,随着电子设备、通信设备的小型化,需加大研究力度,进一步提高压电材料的性能。
压电材料由均匀自发极化的区域(域)组成。如图1所示,这些域在不同方向极化,对施加电压呈现不同的响应。各域的响应是决定压电材料性能的重要因素。而施加电压引起的纳米级变形也并不少见,需要高灵敏度以评估该响应。本文介绍了使用可以检测出亚纳米级响应的扫描探针显微镜[SPM(AFM)]捕获压电材料对施加电压的微弱响应的案例。
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