气相色谱法快速分析电子特气NF3中杂质

2021/11/21   下载量: 6

方案摘要

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应用领域 石油/化工
检测样本 工业气体
检测项目 含量分析
参考标准

本文使用岛津GC-2014气相色谱仪,双通道,两阀四柱,双TCD系统,结合用户实际情况建立了NF3生产中控样品的连续、在线分析方法,可在12min以内完成对H2、N2、CF4、CO2、N2O等杂质的快速分析,双通道相互独立连接不同采样点,恒温分析可实现全天候连续分析。并充分发挥岛津TCD在低温条件下性能稳定的优势,降低了NF3热分解提高分析准确性。

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配置单
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本文建立了使用岛津GC-2014建立了NF3生产中控杂质的快速检测方法,可在12min以内完成对H2N2CF4CO2N2O等杂质的快速分析,数据重现性良好,并表现出优良的检出限,对于低含量杂质实现准确定量。此外,双通道相互独立连接不同采样点,恒温分析并可实现在线自动检测,实现全天候连续分析。充分发挥岛津TCD低温下性能稳定的优势,降低了NF3热分解提高分析准确性。


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