类金刚石碳(DLC)膜的质量评价分析

2023/01/30   下载量: 1

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岛津AIRsight红外拉曼显微镜是红外显微镜和拉曼显微镜一体机,一支持单个仪器可以分析的各种零部件、材料,比如碳材料。AIRsight的外观如图1所示。AIRsight不仅互补了红外光谱法与拉曼光谱法的优缺点,还可以使用两种分析法测定同一样品同一位置,实现高精度定性分析2)。此外,AIRsight为显微系统,可以精确测定外部有缺陷的零部件微小区域和其他目标位置。本文介绍使用红外拉曼显微镜AIRsight的显微拉曼功能分析沉积在硅晶片上DLC膜的示例。

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本文介绍了拉曼光谱法擅长的DLC膜分析示例,红外拉曼显微镜AIRsight仅需一台设备即可实现红外/拉曼光谱分析,可用于各种材料的质量评价。


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