解决方案|GBC Quantima 电感耦合等离子体发射光谱仪测定材料中的镓、铁、硫、钒、铜、钙、镁、铝、锌含量

2022/12/23   下载量： 0 次

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应用领域 半导体
检测样本 其他
检测项目
参考标准 无

电感耦合等离子体发射光谱法具有灵敏度高、检出限低、干扰、线性范围宽等优点，在冶金、环境、食品、农业等各行各业得到了广泛的应用。本文利用GBC Quantima 电感耦合等离子体发射光谱仪,建立了测定半导体生产工艺过程中溶液及材料中镓、铁、硫、钒、铜、钙、镁、铝、锌等元素含量的方法，供相关人员参考。

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电感耦合等离子体发射光谱法的测试原理是利用氩等离子体产生的高温使试样完全分解形成激发态的原子和离子，由于激发态的原子和离子不稳定，外层电子会从激发态向低的能级跃迁，因此发射出特征的谱线。通过光栅等分光后，利用检测器检测特定波长的强度，光的强度与待测元素浓度成正比。本文利用GBC Quantima 电感耦合等离子体发射光谱仪,建立了测定半导体生产工艺过程中溶液及材料中镓、铁、硫、钒、铜、钙、镁、铝、锌等元素含量的方法，供相关人员参考。


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文献贡献者

北京东西分析仪器有限公司
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