方案摘要
使用X-荧光能谱仪进行多层薄膜厚度测量技术在半导体材料镀层分析上广泛使用。但是纳米级薄膜测量技术仍然是测量技术的难点。本文详细介绍了使用QuanX 荧光能谱仪进行这种分析的全过程
文献贡献者
优选 ARL EQUINOX Pro 立式X射线衍射仪
优选 ARL X'TRA Companion X射线衍射仪
优选 ARL EQUINOX 100便携台式X射线衍射仪
优选 赛默飞 ARL QUANT'X 能量色散X荧光光谱仪
Nexsa G2小束斑+特色SnapMap快照成像功能分析SnOₓ成分半导体器件
XPS在半导体材料的应用
X射线衍射仪对药品的动态研究
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