QuanX型荧光能谱仪晶园上薄膜纳米级薄膜厚度均匀度测量

2005/04/20   下载量： 870 次

方案摘要

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应用领域 建材/家具
检测样本 薄膜材料
检测项目
参考标准

使用X-荧光能谱仪进行多层薄膜厚度测量技术在半导体材料镀层分析上广泛使用。但是纳米级薄膜测量技术仍然是测量技术的难点。本文详细介绍了使用QuanX 荧光能谱仪进行这种分析的全过程

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赛默飞世尔科技元素分析(Elemental)
白金会员 丨 第24年
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