一种利用氮等离子体发射光谱检测电子密度的新方法

2008/08/22   下载量: 91

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本文利用氮的等离子体的发射光谱对体积平均电子密度进行检测。其中利用了BTC112E检测其280nm-380nm的发射光谱,得到了比较好的结果

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