使用微型 ATR FTIR 成像系统在电子和半导体行业中进行无损故障/缺陷分析

2016-06-28 17:47 下载量：16

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电子和半导体行业高度依赖于故障和缺陷分析，以最大程度提高工作效率并缩短昂贵的停机时间。随着技术的不断发展，生产出的设备越来越小巧，而其生产工艺也越来越复杂精细。因存在颗粒物和化学污染物引起的高成本停机对正常生产操作的影响越来越大。任何污染物的出现都需要停止生产过程，同时准确并可靠地表征缺陷、确定污染源并设法补救。最大限度缩短完成这一过程所需的时间，实际上能够节省数百万美元之多。安捷伦 Cary 620 化学成像系统利用 FPA（二维矩阵检测器元件，可产生行和列像素）来采集精密组件表面的真实组成图像。

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文献贡献者

安捷伦科技(中国)有限公司

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