涡旋干泵是一种干式的真空泵,其无需加油换油,也没有含油废气的排放,使用维护也非常方便,所以受到了很多客户的青睐。涡旋干泵可以用于质谱仪器、样品前处理、冷冻干燥、手套箱、电子显微镜等应用,同时,还非常适合作为分子泵前级,或者为半导体、镀膜等工艺的 Load Lock 腔室抽真空。
涡旋干泵的设计寿命一般为10年以上,但是为了避免计划外的故障停机,合理的使用和维护也非常重要。
正确的使用气镇
有大量粉尘的应用一定要加装粉尘过滤器
适当的使用氮气吹扫
小保养-更换密封条
大保养-更换轴承等
大保养包括:拆解清洗泵腔,更换全套轴承、小异型轴,更换全套密封圈,更换密封条,对整泵进行泄漏检测等。
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