【Hitachi】S-3700N 超大样品仓扫描电镜

【Hitachi】S-3700N 超大样品仓扫描电镜

参考价:¥200万 - 250万
型号: S-3700N
产地: 日本
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应用领域:
核心参数
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产品详情



研究超大,超重,超高样品的分析型扫描电镜
●最大可载样品直径达300mm
●最大观察区域直径达203mm
●在观察110mm高样品时可进行能谱分析
●样品室设置多种接口,可安装EDS、WDS、EBSD和CL等多种分析用附件
●5轴优中心马达台可以倾斜-20度~+90度
●采用节能,清洁的涡轮分子泵

S-3700N技术参数
分辨率 SE
 
3.0nm,30KV(高真空模式)
10nm,  3KV(高真空模式)
BSE 4.0nm,30KV(低真空模式)
放大倍率 x5~x300,000
加速电压 0.3~30KV
低真空范围 6~270Pa
图像电位移 ±50μm (工作距离10mm)
最大样品尺寸 直径300mm
样品台
X 150mm
Y 110mm
Z 5~65mm
R 360°
T -20°~90°
观测区域 203mm
样品最大高度 直径110mm(工作距离10mm)
样品台类型 优中心马达台
电子光学系统
灯丝 预对中灯丝
物镜 4孔活动光阑
光阑 固定比例偏压、手动偏压和自动4偏压
枪偏压 二次电子探头
探测器 5分割半导体式被散射探头
分析位置 工作距离10mm,取出角35°
显示控制系统
控制模式 键盘鼠标、操纵杆、旋钮板
显示器 液晶显示器
辅助功能 3D动画演示功能
电镜操作导航功能
样品操作导航功能
倾斜补偿功能
存储图像精度 640 x 480 , 1280 x 960
2560 x 1920 , 5120 x 3840
图片格式 BMP, TIFF, JPEG
图像显示模式 全屏模式:1280 x 960
标准模式:640 x 480
分割模式:640 x 480 点x 2
信号混合模式
真空系统
控制模式 全自动
分子泵 210升/秒,一台
机械泵 135升/分,一台
保护措施 断电保护、漏气保护
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