【Hitachi】SU6600配有VP功能的新型热场扫描电镜

【Hitachi】SU6600配有VP功能的新型热场扫描电镜

参考价:面议
型号: SU6600
产地: 日本
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日立公司为分析应用推出的新型热场扫描电镜,可以提供200nA的探针电流,并且配置了VP功能,可以满足不导电样品的无蒸镀观测。
特点:
1.最大200nA的探针电流,可满足EDX、WDX、EBSP、CL等应用
2.配有VP功能,可自动实现压差光阑的安装和取出
3.配有二次电子探头和背散射探头,可选配ESED
4.大型分析型样品室,可方便的安装多种分析附件
5.可装载150mm直径、40mm高样品
6.电脑控制的5轴优中心马达样品台
二次电子分辨率 1.2nm@30KV
3.0nm@1KV
4.5nm@30KV,150Pa
背散射电子分辨率 3.5nm@30KV
放大倍率 10~600,000(输出尺寸127x96mm)
电子枪类型 热场发射
探针电流 1pA~200nA
加速电压 0.5~30KV
物镜光阑 自清洁、4孔可动式
束闸 电磁式
样品台 电脑控制的5轴优中心马达样品台
X 0~110mm
Y 0~110mm
Z 4~40mm
T -5°~+70°
R 360°
最大样品尺寸 直径150mmx 高40mm
探头 二次电子探头
背散射电子探头
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